Augstas -tīrības pakāpes slāpeklis tiek izmantots kā aizsarggāze un nesējgāze integrālo shēmu, pusvadītāju un vakuuma elektronisko ierīču ražošanā; tā kalpo kā nesējgāze ķīmiskajā tvaiku pārklāšanā; tas ved gāzi šķidruma difūzijas avotos; un tā darbojas kā aizsargājoša gāze ierīcēm augstas-temperatūras difūzijas krāsnīs.
Augstas -tīrības pakāpes slāpeklis tiek izmantots kā gāze pārvietošanai, žāvēšanai, uzglabāšanai un transportēšanai tādos procesos kā epitaksija, fotolitogrāfija, tīrīšana un iztvaicēšana. Katodstaru lampu ražošanā ir nepieciešama slāpekļa tīrība 99,99% vai augstāka. Aviācijas un kosmosa tehnoloģijās šķidrā ūdeņraža uzpildes sistēmas vispirms ir jāiztīra ar augstas-tīrības slāpekli, pēc tam ar augstas-tīrības hēliju.
2025. gada decembrī Tirgus regulēšanas valsts pārvalde apstiprināja un izlaida valsts standarta materiālu augstas-tīrības slāpekļa iegūšanai, ko izmanto tādos galvenajos procesos kā tīrīšana, kodināšana un nogulsnēšana pusvadītāju ierīču ražošanā, kā arī tādos procesos kā fotolitogrāfija, jonu implantācija un oksidēšana integrālo shēmu ražošanā.